ГОСТ 4.198-85 Система показателей качества продукции. Аппараты рентгеновские аналитические. Номенклатура показателей

Обозначение НТД,
на который дана ссылка

Номер пункта

ГОСТ 14.205-83

1.1

ГОСТ 27.002-89

1.1

ГОСТ 27.003-90

1.1

ГОСТ 16865-79

1.1

ГОСТ 20337-74

1.1

РД 50-650-87

1.1

Наименование показателя качества

Обозначение показателя качества

Наименование характеризуемого свойства

1. ПОКАЗАТЕЛИ НАЗНАЧЕНИЯ

1.1. Диапазон углового перемещения блока детектирования, град

;
,

Диапазон регистрации дифрактограмм

1.2. Основная аппаратурная погрешность, (ГОСТ 16865), %

Стабильность аналитического сигнала аппарата

1.3. Допускаемое отклонение блока детектирования от заданного угла поворота, град

Искажение дифрактограммы

1.4. Диапазон поворота по углу ,… °

-

Аналитические возможности аппарата

1.5. Диапазон рабочих углов, ... °

То же

1.6. Сходимость показаний аппарата

-

Стабильность выходного параметра аппарата

1.7. Интервал рабочих температур, при которых исследуется образец, °С

Диапазон воздействующих факторов

1.8. Номинальная мощность рентгеновской трубки, Вт (кВт)

Аналитические возможности аппарата

1.9. Угловая установка кристалла (), ... °

-

То же

1.10. Диапазон анализируемых элементов

-

Аналитические возможности аппарата

1.11. Максимальное количество одновременно анализируемых элементов

-

Аналитические возможности аппарата

1.12. Время одного цикла (ввод пробы, измерение, вывод пробы), с

-

Производительность

1.13. Скорость счета на линии на контрольном образце, с

Аналитические возможности аппарата

1.14. Спектральное разрешение (волновое, энергетическое), нм, эВ, %

-

Селективность анализа

1.15. Погрешность угловой установки кристалла (по ), ... °

-

Достоверность анализа

1.16. Разрешение, ...'

-

1.17. Увеличение

-

Возможность получения требуемого линейного разрешения

1.18. Линейное разрешение, мкм

-

Линейная разрешающая способность

1.19. Извлечение минерала, %

-

Эффективность работы аппарата

1.20. Производительность на классе крупности, т/ч

-

Производительность

1.21. Выход материала на отсечку (или на 10 отсечек), кг (зерен)

-

Качество сортировки

1.22. Диапазон исследуемого излучения, нм, кэВ

-

Аналитические возможности аппарата

1.22а. Среднее квадратическое отклонение от среднего значения измеряемых деформаций, %

-

Стабильность аналитического сигнала

1.23. Диапазон ускоряющих напряжений, кВ

-

То же

1.24. Наименьшее увеличение в растровом режиме

-

Наибольшее поле зрения

1.25. Отношение сигнал/шум

-

Чувствительность прибора

1.25а. Погрешность регулирования заданной температуры

-

Стабильность аналитического сигнала

1.26. Рабочая площадь входного окна детектора, мм

-

Аналитические возможности аппарата

1.27-1.27.2. (Исключены, Изм. N 1).

1.28. Минимальный шаг сканирования, нм

-

Аналитические возможности аппарата

1.29. Установочная скорость угловых перемещений блока детектирования, ... °/мин

-

Производительность аппарата

1.30. Диапазон угловых перемещений рентгеновской трубки, ... °

-

Аналитические возможности аппарата

1.31. Допускаемые размеры исследуемого образца, мм

-

1.32. Рабочая среда

-

1.33. Наименьшее (предельное остаточное) давление в рабочем объеме, Па

-

-

1.34. Диапазон регулировки высокого напряжения и анодного тока, кВ, мА

-

Аналитические возможности аппарата

1.35. Класс крупности обрабатываемого материала, мм

-

Характеристика обогащаемого материала

1.36. Контрастность (ГОСТ 16865)

1.37. Предел обнаружения (ГОСТ 16865, г, %

-

Аналитические возможности

1.38. Удельная нагрузка на действительное фокусное пятно рентгеновской трубки (ГОСТ 20337), Вт/мм

-

Производительность

1.39. Контрастная чувствительность, %

-

Качество изображения

1.40. Осциллирование блока детектирования сцинтилляционного, ... °

-

Аналитические возможности аппарата

1.41. Нестабильность анодного напряжения и тока, %

-

То же

1.42. Размеры экрана для визуального наблюдения, мм

-

Удобство наблюдения, обзорность

1.43. Наличие сканирующего канала

-

Аналитические возможности аппарата

1.44. (Исключен, Изм. N 1).

1.45. Автоматическое управление сменой образцов

-

Способность автоматического управления сменой образцов

1.46. Наличие автоматизации управления и обработки данных

-

Возможность комплексной работоспособности системы "аппарат - ЭВМ"

1.47. Оснащенность дополнительными устройствами (например, наличие приставок)

-

Ускорение анализа

1.48. Воспроизводимость положения линии спектра, эВ

-

-

1.49. Габаритные размеры (или установочная площадь), мм (мм)

-

1.50. Условия эксплуатации

-

1.50.1. Параметры питающей сети

-

1.50.2. Устойчивость к климатическим воздействиям

-

1.50.3. Устойчивость к механическим воздействиям

-

2. ПОКАЗАТЕЛИ НАДЕЖНОСТИ

2.1. Показатели безотказности

2.1.1. Средняя наработка на отказ (ГОСТ 27.002), ч (цикл)

2.1.2. Установленная безотказная наработка (РД 50-650-87), ч (цикл)

2.2. Показатели долговечности

2.2.1. Полный средний срок службы (ГОСТ 27.002), лет

2.2.2. Установленный срок службы (ГОСТ 27.003), лет

2.3. Показатель ремонтопригодности

2.3.1. Среднее время восстановления работоспособного состояния (ГОСТ 27.003), ч

3. ПОКАЗАТЕЛИ ЭКОНОМНОГО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ МАТЕРИАЛОВ, ЭНЕРГИИ

3.1. Масса, кг

-

Экономичность расхода материала

3.2. Потребляемая мощность, В·A

-

Экономичность энергопотребления

4. ЭРГОНОМИЧЕСКИЕ ПОКАЗАТЕЛИ

4.1. Показатель уровня шума

-

4.2. Показатель уровня освещенности

-

4.3. Показатель уровня температуры, влажности

-

4.4. Показатель уровня вибрации

-

4.5. Уровень радиопомех

-

4.6. Соответствие изделия силовым, энергетическим возможностям человека

-

4.7. Соответствие изделия слуховым и зрительным возможностям человека

-

4.8. Соответствие изделия закрепленным и вновь формируемым навыкам человека

-

4.9. Возможность восприятия и переработки информации

-

4.10. Соответствие изделия размерам тела человека и его частей

-

4.11. Соответствие изделия форме тела человека и его отдельных частей

-

5. ЭСТЕТИЧЕСКИЕ ПОКАЗАТЕЛИ

5.1. Информационная выразительность

-

5.1.1. Соответствие современным эстетическим представлениям

-

5.2. Рациональность формы

-

5.2.1. Функциональность

-

5.3. Целостность композиции

-

5.3.1. Уровень композиционного решения

-

5.4. Совершенство производственного исполнения (товарный вид)

-

6. ПОКАЗАТЕЛИ ТЕХНОЛОГИЧНОСТИ (ГОСТ 14.205-83)

6.1. Трудоемкость изготовления изделия, нормо-ч

6.2. Технологическая себестоимость изделия, руб.

7. ПОКАЗАТЕЛИ ТРАНСПОРТАБЕЛЬНОСТИ

7.1. Температура транспортирования, °С

-

7.2. Верхнее значение относительной влажности при температуре, %

-

7.3. Транспортная тряска при частоте ударов в минуту

-

8. ПОКАЗАТЕЛИ СТАНДАРТИЗАЦИИ И УНИФИКАЦИИ

8.1. Коэффициент применяемости, %

8.2. Коэффициент повторяемости, %

9. ПАТЕНТНО-ПРАВОВЫЕ ПОКАЗАТЕЛИ

9.1. Показатель патентной защиты

9.2. Показатель патентной чистоты

10. ЭКОЛОГИЧЕСКИЙ ПОКАЗАТЕЛЬ

10.1. Мощность экспозиционной дозы рентгеновского излучения, А/кг

-

11. ПОКАЗАТЕЛИ БЕЗОПАСНОСТИ

11.1. Время срабатывания защиты, с

-

11.2. Электрическая прочность изоляции, кВ

-

11.3. Электрическое сопротивление изоляции, Ом

-

11.4. Наличие блокирующих устройств

-

11.5. Наличие аварийных сигнализаций, световой индикации

-

Применяемость по подгруппам однородной продукции

Дифрактометры специализированные

Номер пока- зателя по табл.1

Ди-
фракто- метры общего назна-
чения

текстур- ные

для иссле- дования моно- кристал- лов

для опре- деления макро- напря- жений

мало- угло-
вые

для исследования
в особых условиях

для исследования реальной струк- туры кристаллов
на основе детек- торов телевизи- онного типа

Аппараты рентгеновские
для структурного анализа с фоторегистрацией

низко- темпе- ратур- ные

высоко- темпе- ратур- ные

с отпа- янной рентге- новской трубкой

с враща- ющимся анодом

1.1

+

+

+

-

-

±

±

-

-

-

1.2

+

+

±

-

-

-

-

-

-

-

1.3

+

-

+

-

-

-

-

-

-

-

1.4

-

-

+

-

-

-

-

-

-

-

1.5

-

-

-

+

+

-

-

-

-

-

1.6

-

-

-

+

-

-

-

-

-

-

1.7

-

-

-

-

-

+

+

-

-

-

1.8

±

±

±

±

±

-

-

±

±

±

1.9

-

-

-

-

+

-

-

-

+

+

1.10-1.14

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

1.15

-

-

+

-

+

-

-

-

-

-

1.16

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

1.17

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

1.18

-

-

-

-

-

-

-

+

-

-

1.19-1.22

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

1.22а

-

-

-

+

-

-

-

-

-

-

1.23-1.25

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

1.25а

-

-

-

-

-

+

+

-

-

-

1.26

-

-

-

-

-

-

-

+

-

-

1.28

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

1.29

+

-

±

-

-

-

-

-

-

-

1.30

±

±

±

±

-

-

-

-

-

-

1.31

±

±

±

±

±

±

±

±

-

-

1.32

-

-

-

-

-

±

±

-

-

-

1.33

-

-

-

-

-

±

+

-

-

-

1.34

±

±

±

-

-

-

-

-

±

±

1.35-1.37

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

1.38

-

-

-

-

-

-

-

-

+

+

1.39

-

-

-

-

-

-

-

+

-

-

1.40

-

-

-

+

-

-

-

-

-

-

1.41

-

-

-

-

-

-

-

-

-

+

1.42-1.43

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

1.45

±

-

-

-

-

-

-

-

-

-

1.46

±

±

+

+

+

+

+

+

-

-

1.47

±

-

-

-

-

-

-

-

-

-

1.48

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

1.49

+

+

+

+

+

+

+

+

+

+

1.50.1- 1.50.3

+

+

+

+

+

+

+

+

+

+

2.1.1

+

+

+

+

+

+

+

+

+

+

2.1.2

+

+

+

+

+

+

+

+

+

+

2.2.1

+

+

+

+

+

+

+

+

+

+

2.2.2

±

±

±

±

±

±

±

±

±

±

2.3.1

±

±

±

±

±

±

±

±

±

±

3.1-3.2

+

+

+

+

+

+

+

+

+

+

4.1-4.11

±

±

±

±

±

±

±

±

±

±

5.1-5.4

±

±

±

±

±

±

±

±

±

±

6.1-6.2

+

+

+

+

+

+

+

+

+

+

7.1-7.3

+

+

+

+

+

+

+

+

+

+

8.1-8.2

+

+

+

+

+

+

+

+

+

+

9.1-9.2

+

+

+

+

+

+

+

+

+

+

10.1

+

+

+

+

+

-

-

+

+

+

11.1-11.5

±

±

±

±

±

±

±

±

±

±

Применяемость по подгруппам однородной продукции

Номер показателя по табл.1

Спектрометры кристалл-дифракционные

Спектрометры бездифракционные
с полупроводниковым детектором

Анализаторы
рентгеновские

многоканальные

сканирующие

1.1

-

-

-

-

1.2

+

+

+

+

1.3-1.9

-

-

-

-

1.10

+

+

+

+

1.11

+

-

-

+

1.12

+

±

-

±

1.13

+

+

+

±

1.14

-

-

+

-

1.15-1.26

-

-

-

-

1.28

±

±

-

±

1.29-1.30

-

-

-

-

1.31

±

±

±

±

1.32-1.33

-

-

-

-

1.34

±

±

±

±

1.35

-

-

-

-

1.36

+

+

-

±

1.37

±

±

-

±

1.38-1.42

-

-

-

-

1.43

+

-

-

±

1.45-1.46

+

±

+

±

1.47-1.48

-

-

-

-

1.49

+

+

+

+

1.50.1-1.50.3

+

+

+

+

2.1.1

+

+

+

+

2.1.2

+

+

+

+

2.2.1

+

+

+

+

2.2.2

±

±

±

±

2.3.1

±

±

±

±

3.1-3.2

+

+

+

+

4.1-4.11

±

±

±

±

5.1-5.4

±

±

±

±

6.1-6.2

+

+

+

+

7.1-7.3

+

+

+

+

8.1-8.2

+

+

+

+

9.1-9.2

+

+

+

+

10.1

+

+

+

+

11.1-11.5

±

±

±

±

Номер показателя
по табл.1

Применяемость по подгруппам однородной продукции

Микроскопы рентгеновские

Аппараты рентгенолюминесцентные

Микроанализаторы рентгеновские

1.1-1.7

-

-

-

1.8

+

-

-

1.9

-

-

-

1.10

-

-

+

1.11

-

-

+

1.12

-

-

-

1.13

-

-

+

1.14-1.16

-

-

-

1.17

+

-

-

1.18

+

-

-

1.19

-

+

-

1.20

-

+

-

1.21

-

+

-

1.22-1.22а

-

-

-

1.23

-

-

+

1.24

-

-

+

1.25-1.25а

-

-

-

1.26

-

-

-

1.28-1.30

-

-

-

1.31

±

-

-

1.32-1.34

-

-

-

1.35

-

+

-

1.36-1.38

-

-

-

1.39

±

-

-

1.40-1.41

-

-

-

1.42

-

-

±

1.43

-

-

+

1.45

-

-

-

1.46

-

+

+

1.47

-

-

±

1.48

-

-

-

1.49

+

+

+

1.50.1-1.50.3

+

+

+

2.1.1

+

+

+

2.1.2

+

+

+

2.2.1

+

+

+

2.2.2

±

±

±

2.3.1

±

±

±

3.1-3.2

+

+

+

4.1-4.11

±

±

±

5.1-5.4

±

±

±

6.1-6.2

+

+

+

7.1-7.3

+

+

+

8.1-8.2

+

+

+

9.1-9.2

+

+

+

10.1

+

+

+

11.1-11.5

±

±

±

Применяемость по подгруппам однородной продукции

Номер показателя по табл.1

Приборы рентгенофизические

спектрометры рентгеноэлектронные

спектрометры оже-электронные

аппараты для исследования тонкой структуры рентгеновских спектров

1.1-1.12

-

-

-

1.13

+

±

±

1.14

+

+

±

1.15-1.17

-

-

-

1.18

-

+

-

1.19-1.21

-

-

-

1.22

-

-

+

1.22a

-

-

-

1.23-1.24

-

-

-

1.25

-

+

-

1.25а

-

-

-

1.26-1.32

-

-

-

1.33

±

±

±

1.34-1.35

-

-

-

1.36

+

±

±

1.37-1.45

-

-

-

1.46

±

±

±

1.47

±

±

-

1.48

+

-

±

1.49

+

+

+

1.50.1-1.50.3

+

+

+

2.1.1

+

+

+

2.1.2

+

+

+

2.2.1

+

+

+

2.2.2

±

±

±

2.3.1

±

±

±

3.1-3.2

+

+

+

4.1-4.11

±

±

±

5.1-5.4

±

±

±

6.1-6.2

+

+

+

7.1-7.3

+

+

+

8.1-8.2

+

+

+

9.1-9.2

+

+

+

10.1

+

+

+

11.1-11.5

±

±

±

Номер показателя
по табл.1

Область применения показателя

ТЗ на НИР, ГОСТ ОТТ

Стандарты (кроме ГОСТ ОТТ)

ТЗ на ОКР

ТУ

КУ

1.1

+

+

±

±

±

1.2

+

+

±

±

±

1.3

+

+

±

±

±

1.4

+

+

±

±

±

1.5

+

+

±

±

±

1.6

-

+

±

±

±

1.7

+

+

±

±

±

1.8

+

+

±

±

±

1.9

+

+

±

±

±

1.10

+

+

±

±

±

1.11

+

+

±

±

±

1.12

+

-

±

±

±

1.13

+

+

±

±

±

1.14

+

+

±

±

±

1.15

+

+

±

±

±

1.16

+

-

±

±

±

1.17

+

-

±

±

±

1.18

+

+

±

±

±

1.19

+

-

±

±

±

1.20

+

-

±

±

±

1.21

+

-

±

±

±

1.22

+

-

±

±

±

1.22а

+

+

±

±

±

1.23

+

-

±

±

±

1.24

+

-

±

±

±

1.25

+

-

±

±

±

1.25а

+

+

±

±

±

1.26

+

-

±

±

±

1.28

-

-

±

±

±

1.29

+

+

±

±

±

1.30

-

-

±

±

±

1.31

-

+

±

±

±

1.32

-

-

±

±

±

1.33

+

+

±

±

±

1.34

-

-

±

±

±

1.35

+

-

±

±

±

1.36

+

+

±

±

±

1.37

-

-

±

±

±

1.38

+

+

±

±

±

1.39

+

+

±

±

±

1.40

+

+

±

±

±

1.41

+

+

±

±

±

1.42

-

-

±

±

±

1.43

+

+

±

±

±

1.45

+

+

±

±

±

1.46

+

+

±

±

±

1.47

+

+

±

±

±

1.48

-

-

±

±

±

1.49

-

-

+

+

+

1.50.1-1.50.3

-

+

+

+

+

2.1.1

+

+

+

+

+

2.1.2

+

+

+

+

+

2.2.1

+

+

+

+

+

2.2.2

±

+

±

±

±

2.3.1

±

±

±

±

±

3.1-3.2

+

±

+

+

+

4.1-4.11

-

-

+

-

±

5.1-5.4

-

-

+

-

-

6.1-6.2

-

-

+

-

+

7.1-7.3

-

-

+

+

+

8.1-8.2

-

-

-

-

+

9.1-9.2

-

-

-

-

+

10.1

-

-

±

±

±

11.1-11.5

-

-

±

±

±

Номер показателя
по табл.1

Возможность восприятия и переработки информации

4.9

Воспроизводимость положения линии спектра

1.48

Время восстановления работоспособного состояния среднее

2.3.1

Время одного цикла

1.12

Время срабатывания защиты

11.1

Выразительность информационная

5.1

Выход материала на отсечку

1.21

Давление в рабочем объеме наименьшее (предельное остаточное)

1.33

Диапазон анализируемых элементов

1.10

Диапазон исследуемого излучения

1.22

Диапазон поворота по углу

1.4

Диапазон регулировки высокого напряжения и анодного тока

1.34

Диапазон рабочих углов

1.5

Диапазон угловых перемещений рентгеновской трубки

1.30

Диапазон ускоряющих напряжений

1.23

Диапазон углового перемещения блока детектирования

1.1

Значение относительной влажности при температуре верхнее

7.2

Извлечение минерала

1.19

Интервал рабочих температур, при которых исследуется образец

1.7

Класс крупности обрабатываемого материала

1.35

Количество одновременно анализируемых элементов максимальное

1.11

Контрастность

1.36

Коэффициент повторяемости

8.2

Коэффициент применяемости

8.1

Масса

3.1

Мощность потребляемая

3.2

Мощность рентгеновской трубки номинальная

1.8

Мощность экспозиционной дозы рентгеновского излучения

10.1

Нагрузка на действительное фокусное пятно рентгеновской трубки удельная

1.38

Наличие аварийных сигнализаций, световой индикации

11.5

Наличие автоматизации управления и обработки данных

1.46

Наличие блокирующих устройств

11.4

Наличие сканирующего канала

1.43

Наработка на отказ средняя

2.1.1

Наработка безотказная установленная

2.1.2

Нестабильность анодного напряжения и тока

1.41

Оснащенность дополнительными устройствами (например, наличие приставок)

1.47

Oтношение сигнал/шум

1.25

Отклонение блока детектирования от заданного угла поворота допускаемое

1.3

Отклонение от среднего значения измеряемых деформаций среднее квадратическое

1.22а

Осциллирование блока детектирования сцинтилляционного

1.40

Параметры питающей сети

1.50.1

Площадь входного окна детектора рабочая

1.26

Погрешность основная аппаратурная

1.2

Погрешность регулирования заданной температуры

1.25a

Погрешность угловой установки кристалла

1.15

Показатели безотказности

2.1

Показатели долговечности

2.2

Показатель патентной защиты

9.1

Показатель патентной чистоты

9.2

Показатель ремонтопригодности

2.3

Показатель уровня вибрации

4.4

Показатель уровня освещенности

4.2

Показатель уровня температуры, влажности

4.3

Показатели уровня шума

4.1

Предел обнаружения

1.37

Прочность изоляции электрическая

11.2

Производительность на классе крупности

1.20

Размеры габаритные (или площадь установочная)

1.49

Размеры исследуемого образца допускаемые

1.31

Размеры экрана для визуального наблюдения

1.42

Разрешение

1.16

Разрешение линейное

1.18

Разрешение спектральное (волновое, энергетическое)

1.14

Рациональность формы

5.2

Себестоимость изделия технологическая

6.2

Скорость счета на линии на контрольном образце

1.13

Скорость угловых перемещений блока детектирования установочная

1.29

Совершенство производственного исполнения (товарный вид)

5.4

Сопротивление изоляции электрическое

11.3

Соответствие изделия силовым, энергетическим возможностям человека

4.6

Соответствие изделия слуховым и зрительным возможностям человека

4.7

Соответствие изделия закрепленным и вновь формируемым навыкам человека

4.8

Соответствие изделия размерам тела человека и его частей

4.10

Соответствие изделия форме тела человека и его отдельных частей

4.11

Соответствие современным эстетическим представлениям

5.1.1

Среда рабочая

1.32

Срок службы установленный

2.2.2

Срок службы полный средний

2.2.1

Сходимость показаний аппарата

1.6

Температура транспортирования

7.1

Трудоемкость изготовления изделия

6.1

Тряска при частоте ударов в минуту транспортная

7.3

Увеличение

1.17

Увеличение в растровом режиме наименьшее

1.24

Установка кристалла угловая

1.9

Управление сменой образцов автоматическое

1.45

Уровень радиопомех

4.5

Уровень композиционного решения

5.3.1

Условия эксплуатации

1.50

Устойчивость к климатическим воздействиям

1.50.2

Устойчивость к механическим воздействиям

1.50.3

Функциональность

5.2.1

Целостность композиции

5.3

Чувствительность контрастная

1.39

Шаг сканирования минимальный

1.28

Наименование показателя качества

Номер показателя
по табл.1

Пояснение

Выход материала на отсечку

1.21

Масса материала, поступающего в концентрат при однократном (10-кратном) срабатывании исполнительного устройства

Диапазон рабочих углов

1.5

Диапазон углов, в котором может быть зарегистрировано рентгеновское излучение, рассеянное или дифрагированное исследуемым образом

Допускаемое отклонение блока детектирования от заданного угла поворота

1.3

Отклонение действительного углового положения блока детектора, установленного системой управления аппарата, oт заданного углового положения

Извлечение минерала

1.19

Отношение извлеченной массы минерала к его массе в исходном материале

Контрастная чувствительность

1.39

Отношение минимального наблюдаемого изменения толщины к толщине контpoльного образца минерала

Линейное разрешение

1.18

Минимальный линейный размер элемента контрольного образца, различимый по изображению объекта или при помощи средств регистрации

Отношение сигнал/шум

1.25

Отношение амплитуды ожепика определяемого злемента к междупиковому значению шума при заданных значениях энергии и тока первичного пучка электронов и постоянной времени тракта регистрации

Предел обнаружения

1.37

Минимально обнаружимое количество или концентрация элемента (вещества) в искусственном (контрольном) образце

Увеличение

1.17

Отношение линейного размера элемента изображения контрольного образца к размеру соответствующего элемента образца

Установочная скорость угловых перемещений блока детектирования

1.29

Транспортная скорость углового перемещения блока детектирования

Сходимость показаний аппарата

1.6

Качество измерений, отражающее близость друг к другу результатов измерений, выполняемых в одинаковых условиях